PVD鍍膜過程對環(huán)境濕度具有特殊要求。濕度會影響鍍膜質(zhì)量和設(shè)備穩(wěn)定性。當環(huán)境濕度過高時，水汽可能會混入鍍膜腔室，與靶材反應(yīng)生成雜質(zhì)，導(dǎo)致膜層出現(xiàn)氣孔、疏松等缺陷，降低膜層的致密性和結(jié)合力。而且過多水汽還可能影響等離子體的穩(wěn)定性，使鍍膜過程難以準確控制。
 一般來說，PVD鍍膜環(huán)境的相對濕度應(yīng)控制在30%-50%之間。為達到這個要求，車間通常會配備除濕設(shè)備，實時監(jiān)測并調(diào)節(jié)濕度，以保證鍍膜過程在穩(wěn)定的濕度環(huán)境下進行，從而獲得高質(zhì)量的膜層。